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KLA 臺階儀-P-17-探針式-表面輪廓儀

    P-17支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

產品描述

    P-17是第八代臺式探針輪廓儀，是40多年的表面量測經驗的結晶。該系統業界，支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

    該系統結合了UltraLite?傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，因而具備出色的測量穩定性。 通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能，程序設置簡便快速。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法，可以支持2D或3D測量。 并通過圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。

主要功能

·       臺階高度：幾納米至1000μm

·       微力恒力控制：0.03至50mg

·       樣品全直徑掃描，無需圖像拼接

·       視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機

·       圓弧校正：由于探針的弧形運動引起的誤差

·       軟件：簡單易用的軟件界面

·       生產能力：通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現全自動化

主要應用

·       臺階高度：2D和3D臺階高度

·       紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

·       形狀：2D和3D翹曲和形狀

·       應力：2D和3D薄膜應力

·       缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌

工業應用

·       大學、研究實驗室和研究所

·       半導體和化合物半導體

·       LED：發光二極管

·       太陽能

·       MEMS：微機電系統

·       數據存儲

·       汽車

·       設備

·       還有更多，請與我們聯系以滿足您的要求