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氦質譜檢漏儀發展

經過近半個世紀的努力，今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。

集中體現在如下幾個方面：

（1）便攜式：近期各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。

（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。

（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

（5）檢漏范圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統，不僅解決了油蒸氣對質譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級構造和幾種不同的轉速。例如可通過采用改變分子泵轉速來達到此目的，且提高檢漏靈敏度。另外，逆擴散檢漏方式，實現了高壓強下檢漏，也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。