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在選購去離子水,工業蒸餾水,高純水,超純水時,或設備時,應該注意提供的水質指標,如電導率或電阻率,鈉,二氧化硅,以及微生物指標.這些都可向廠家咨詢.如醫藥,生物,化工方面一般都選擇工業蒸餾水,這種工藝制得的純水,微生物含量比較有保障.如果離子交換工藝做的去離子水,后端采用了殺菌措施,則去離子水的純度會更高一些,而且成本更低.

在純水的制作中，水質標準所規定的各項指標應該根據電子(微電子)元器件(或材料)的生產工藝而定(如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質的尺寸為其線寬的1/5-1/10)，但由于微電子技術的復雜性和影響產品質量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產的完整的水質標準。

去離子水是指除去了呈離子形式雜質后的純水，應用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機物。

工業蒸餾水與高純水,去離子水,其實都是純度非常高的水,水中的雜質含量很少,一般電導率都在1us/cm以下。