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利用高能高奧氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡，所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。

該技術節能、環保，應用范圍廣，所有化工生產環節產生的惡臭異味幾乎都可以處理，并對二惡英有良好的分解效果。
等離子體工業廢氣處理技術已研制出標準化廢氣治理設備，利用所產生的高能電子、自由基等活性粒子激活、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分解，氧化等一些列復雜的化學反應，再經過多級凈化，從而消除各種污染源排放的異味、臭味污染物，使有毒有害氣體達到低毒化、無毒化，保護人類生存環境。
由于其對污染物分子的高效分解且處理能耗低等特點，為工業廢氣的處理開辟了一條新的思路。

第四：利用特制的高能光束照射惡臭氣體，裂解惡臭氣體如:氨、三、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S、VOC類、苯、、二的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H?O等。

低溫等離子廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度是其他技術產生等離子體密度的1500倍，初用于氟利昂類、隆類物質的分解處理，后延伸至工業惡臭、異味、有毒有害氣體處理。