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工業廢氣有機尾氣的焚燒目前主要采用兩種焚燒方式，RTO焚燒和CTO焚燒。CTO焚燒爐也就是VOC催化燃燒設備，催化燃燒溫度低，能耗低，設備也比較小，比較適合不含硫、氮和鹵素等元素的廢氣焚燒，含硫、氮和鹵素的廢氣容易導致貴金屬催化劑中毒而失去效果。RTO焚燒使用范圍很廣，基本上各種廢氣都可以焚燒。可以根據廢氣情況具體選擇合適的設備。

低溫催化劑性能指標：起燃溫度≤200℃，氧化轉化效率≥95%，孔密度200-400cpsi，抗壓強度≥8MPa。通常VOCs的自燃燒溫度較高，通過催化劑的活化，可降低VOCs燃燒的活化能，從而降低起燃溫度，減少能耗，節約成本。

催化燃燒采用RCO工藝凈化有機廢氣，可同時去除多種有機污染物，具有工藝簡單、設備緊湊、運行可靠等優點。

一般（無催化劑存在）的燃燒溫度都會在600℃以上，這樣的燃燒會產生氮氧化物，就是常說的NOx,這也是要嚴格控制的污染物。催化燃燒是沒有明火的燃燒，一般低于350℃，不會有NOx生成，因此更為安全和環保。