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SD-650MHT雙靶參數：

品牌                        北京博遠微納科技有限公司                                           

型號                        SD-650MHT                                          

儀器主機尺寸:               長610mm×寬420mm×高220mm（注：含腔體總高490mm） 

工作腔室尺寸：              金屬腔體：直徑260mm×高500mm（外尺寸 ）           

                                      直徑210mm×高270mm（內尺寸）            

靶頭：                      雙靶                                                           

靶材尺寸：                  直徑50mm×厚3mm（因靶材材質不同厚度有所不同）    

靶材料：                    標配一塊直徑50mm×3mm的銅靶及直徑50mm×3mm的鋁靶                       

靶槍冷卻方式：              水冷                                                    

極限真空度:                 5×10^-5Pa（10分鐘可到5×10^-3Pa）                    

電源：        直流恒流電源：輸入電壓：220V                       

                            輸出電壓：0-600v                                       

                            輸出電流：0-1.6A                                     

            射頻電源和匹配器：功率500W。                             

載樣臺：                    直徑200mm                                           

工作氣體：                  Ar等惰性氣體（需自備氣瓶及減壓閥）                                     

氣路：                      氣路可以通過電磁流量閥與手動閥聯動控制。                          

水冷：                      自循環冷卻水機                                     

膜厚儀                      實時監測，觸摸屏控制                                

可鍍材料：                  鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜、氧化物薄膜、硬質薄膜、聚四氟乙烯薄膜等                                              

電源電壓：                  220V 50Hz                                          

啟動功率                    3KW                                                

【SD-650MHT 安裝 / 使用 環境】

選擇一個合適的儀器擺放位置：

1、放置SD-650MT高真空磁控鍍膜儀在一個長130cm,寬60cm的平面桌子上（桌子的承重需要在200KG以上）；

 

2，放置“外置 旋轉機械真空泵”及“冷水機”在一個合適的位置（地面 / 靠近鍍膜儀主機）；

 

3，系統總重量（鍍膜儀、電器柜、選裝泵、冷水機）約為208~240KG（選配不同），請確保有4人一起移動 / 搬運儀器；

 

4，儀器的使用 / 運行環境溫度為15~25攝氏度，相對濕度不超過75%；

 

5,為儀器提供一個220V，16A的空開。

 

6，確保使用 / 運行環境有足夠的通風，并且避免陽光直接照射到儀器。

 

7，氬氣和氬氣瓶解壓閥需自備。