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變壓吸附制氮又被稱為PSA制氮，這種制氮機的工作原理是在60年代末出現的。制氮機在變壓吸附（PSA) 原理從壓縮空氣中產生連續的氮氣流。兩座塔均裝有碳分子篩 (CMS)。預處理的壓縮空氣進入在塔的底部并通過 CMS 跟進。CMS 優先吸附氧氣和其他微量氣體，從而使氮氣通過。在預設時間后，塔會自動切換到再生模式，從 CMS 中排出污染物。碳分子篩與普通活性炭的不同之處在于它的孔徑范圍要窄得多。這允許小分子（如氧氣）穿透孔隙，較大的氮分子繞過 CMS 并作為產品氣體出現。

特點：與傳統制氮法相比，它具有工藝流程簡單、自動化程度高、產氣速度快(15～30分鐘)、能耗低，產品純度可在較大范圍內根據用戶需要進行調節，操作維護方便、運行成本較低、裝置適應性較強等特點，故在1000Nm3/h以下制氮設備中頗具競爭力，越來越得到中、小型氮氣用戶的歡迎，PSA制氮已成為中、小型氮氣用戶的方法。