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工業廢氣有機尾氣的焚燒目前主要采用兩種焚燒方式，RTO焚燒和CTO焚燒。CTO焚燒爐也就是VOC催化燃燒設備，催化燃燒溫度低，能耗低，設備也比較小，比較適合不含硫、氮和鹵素等元素的廢氣焚燒，含硫、氮和鹵素的廢氣容易導致貴金屬催化劑中毒而失去效果。RTO焚燒使用范圍很廣，基本上各種廢氣都可以焚燒。可以根據廢氣情況具體選擇合適的設備。

催化燃燒設備具有運行費用低的優點，其熱回收率一般可達95%以上。

整個過程無廢水產生，凈化過程不產生二次污染。