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國產單面雙面光刻機URE-2000/A型紫外光刻機URE-2000/35
價格
訂貨量(臺)
￥260000.00
≥1
店鋪主推品 熱銷潛力款
聯系人 婁先生 銷售總監 
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發貨地 上海市青浦區
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商品參數
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商品介紹
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聯系方式
品牌 國產
功能 接觸式光刻
尺寸 4、6、8寸晶圓
分辨率 2um以內
電壓 220V
商品介紹
產品名稱：URE-2000S/A型紫外光刻機
主要技術指標： | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 曝光面積：150mm×150mm | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 分辨力：1μm（膠厚1.5 μm的正膠） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 對準精度：±3μm（雙面） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 膠厚：500μm（SU8膠） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 掩模尺寸:3inch、4 inch、5 inch、7 inch | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 樣片尺寸：直徑Ф30mm--Ф150mm 厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 照明均勻性：±3.5%Ф100mm) ±5.5%(Ф150mm) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 汞燈功率：1000W（直流） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6° 產品名稱：URE-2000/35型紫外光刻機
產品名稱：URE-2000/A型紫外光刻機
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聯系方式
（QQ：1029292366） 婁先生 銷售總監
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