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 低溫等離子體工藝原理（等離子電離分解+氧化還原作用）

      等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，隨著電極兩端外加電壓的升高，電極之間的絕緣體被擊穿，發生電離分解反應，產生包括各種電子、離子、原子和自由基在內的混合體；當電壓升高到一定值（N）的時候，達到電子和離子的運動值，達到這一值叫等離子體。

      根據試驗測得等離子體的能級為15eV，污染物分子的能級小于11eV，因此等離子體有足夠能量打開和擊斷廢氣中絕大部分污染物的化學鍵，使廢氣污染物分子團從分崩離析出來；與此同時，等離子體還能電離分解空氣中的H2O、O2分子，產生臭氧和活性氧，協同反應對廢氣污染物進行氧化還原作用，重新排列組合成以H2O、O2為主的無害化分子，從而達到對廢氣的凈化處理作用。