MarchAP-600等離子清洗機/MarchAP-1000
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商品參數
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商品介紹
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聯系方式
外殼尺寸 0.569米寬X 0.869米長 X 0.704米高 (22英寸寬X 34英寸長 x 28英寸高)
凈重 221公斤(487磅)
工藝腔體 50.4升(3076立方英寸)
帶電電極面積 330毫米寬 x 330毫米長 (13英寸寬 x 13英寸長)
頻率 13.56MHZ
功率 600W
MFC最多可配置數 4
電源 220伏,10安,50/60赫茲,單相,12 AWG,3線
功能 等離子清洗
標配油泵
商品介紹

Nordson MARCH AP 系列批處理真空等離子系統提供了小、中、大三種不同真空腔體尺寸的選擇,無論客戶是希望用于R&D還是不同等級的生產環境,均可以給客戶提供工藝關聯的、控制連續的、可靠的、和可重復的真空氣體等離子處理系統。

AP 系列等離子處理機器適合于廣泛的等離子清洗、表面活化和粘接力增強應用。這些能力可用于半導體封裝工廠,微電子封裝和組裝,也可以用于醫藥和生命科學器件的生產。

等離子處理設備的特點和優勢

? 帶觸摸屏的PLC控制器提供了直觀圖形界面和實時工藝呈現。
? 無論是直接等離子,還是下游等離子模式,彈性架板結構都可以應對各種不同的樣品載具。
? 13.56 MHz 射頻發生器有自動阻抗調諧,實現了成熟的工藝再現性。
? 專有的軟件控制系統生成工藝和生產數據用于統計制成控制。
? 批處理類型,每一個單元都包含在機器內部,只需要較小的占地面積。
? 泵、腔體、電子控制、13.56 MHz射頻源都被封裝在一個箱體內。

AP-300和AP-600等離子清洗機:AP-300和AP-600系統適合多種多樣的等離子清洗、表面活化和改善附著力等應用。這些能力可以用于半導體制造、微電子封裝和組裝、醫療設備和生命科學器件的制造等。

AP-300系統能夠適合廣泛的工藝氣體,包括氬氣、氧氣、氫氣、氦氣及氟化氣體。通過2個標準配置的氣體流量控制器控制用于較好的氣體控制。系統還可以選配2路氣體,即最多可達4路。

Nordson MARCH AP 系列批處理真空等離子系統提供了小、中、大三種不同真空腔體尺寸的選擇,無論客戶是希望用于R&D還是不同等級的生產環境,均可以給客戶提供工藝關聯的、控制連續的、可靠的、和可重復的真空氣體等離子處理系統。

AP 系列等離子處理機器適合于廣泛的等離子清洗、表面活化和粘接力增強應用。這些能力可用于半導體封裝工廠,微電子封裝和組裝,也可以用于醫藥和生命科學器件的生產。

等離子處理設備的特點和優勢

? 帶觸摸屏的PLC控制器提供了直觀圖形界面和實時工藝呈現。
? 無論是直接等離子,還是下游等離子模式,彈性架板結構都可以應對各種不同的樣品載具。
? 13.56 MHz 射頻發生器有自動阻抗調諧,實現了成熟的工藝再現性。
? 專有的軟件控制系統生成工藝和生產數據用于統計制成控制。
? 批處理類型,每一個單元都包含在機器內部,只需要較小的占地面積。
? 泵、腔體、電子控制、13.56 MHz射頻源都被封裝在一個箱體內。

AP-300和AP-600等離子清洗機:AP-300和AP-600系統適合多種多樣的等離子清洗、表面活化和改善附著力等應用。這些能力可以用于半導體制造、微電子封裝和組裝、醫療設備和生命科學器件的制造等。

AP-300系統能夠適合廣泛的工藝氣體,包括氬氣、氧氣、氫氣、氦氣及氟化氣體。通過2個標準配置的氣體流量控制器控制用于較好的氣體控制。系統還可以選配2路氣體,即最多可達4路。

外形尺寸 AP-300
W (寬)x D(長) x H(高) – 占地面積 569(寬) x 869(進深) x 704(高) 毫米
凈重                                 221公斤 (487磅)
設備間隙                         右側、左側、前面–至少 569毫米,后面–至少254毫米
處理腔體
最大容量                         33.1 升
多鐘電極配置                         電源-接地、接地-電源、電源-電源
電極插槽數                         7
電極間距                         25.4毫米
電極
電源電極面積                         190(寬) x 330(進深) 毫米
多孔接地電極面積                 229(寬) x 330(進深) 毫米
懸浮電極面積                         190(寬) x 330(進深) 毫米
射頻電源
標配電源                         300 W
頻率                                 13.56 MHz
氣體控制
流量計                                 10, 25, 50, 100, 250 或 500 sccm(標準毫升每分鐘)
MFC最多可配置數量                 4


外形尺寸AP-600
W (寬)x D(長) x H(高) – 占地面積 569(寬) x 869(進深) x 704(高) 毫米
凈重 221公斤 (487磅)
設備間隙 右側、左側、前面–至少 569毫米,后面–至少254毫米
處理腔體
容量 50.4 升
多鐘電極配置 電源-接地、接地-電源、電源-電源
電極插槽數 7
電極間距 25.4毫米
電極
電源電極面積 330(寬) x 330(進深) 毫米
多孔接地電極面積                        368(寬) x 330(進深) 毫米
懸浮電極面積 330(寬) x 330(進深) 毫米
射頻電源
標配電源 600 W
頻率 13.56 MHz
氣體控制
流量計 10, 25, 50, 100, 250 或 500 sccm(標準毫升每分鐘)
MFC*多可配置數量 4

AP-1000等離子清洗機:搭配HTP(高產能)電極的AP-1000等離子系統是綜合了March擁有的電極設計和AP-1000的高可靠性及其優良的工藝性。AP-1000 HTP充分利用了射頻等離子產生的活性離子,不僅縮短工藝時間而且提高處理均勻性。

AP-1000HTP配備4路氣體流量控制器,因工藝需求可選周不同的氣體包括氬氣、氫氣和氦氣等。
開槽式料盒可豎放于工藝腔內,通常每個料盒最少可放置20條引線框,根據料盒尺寸大小,一爐可最多放置12個料盒。


聯系方式
公司名稱 螣芯科技
聯系賣家 婁先生 (QQ:1029292366)
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地址 上海市青浦區
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