找商網手機端：m.zhaosw.com
掃一掃 
掃一掃添加商家
收藏 
伯東公司供應KRI-霍爾離子源-eH-400
價格
訂貨量(個)
面議
≥1
店鋪主推品 熱銷潛力款
聯系人 羅月 
掃一掃添加商家
䀋䀔䀑䀍䀋䀏䀔䀋䀍䀓䀌
發貨地 廣東省深圳市
在線客服
商品參數
|
商品介紹
|
聯系方式
型號 eH 400 / eH 400 LEHO
電壓 40-300 V VDC
自動控制 控制4種氣體
直徑 3.7'
高度 3.0'
商品介紹
美國 KRI 霍爾離子源 eH 400
上海伯東代理美國原裝進口 KRI 霍爾離子源 eH 400 低成本設計提供高離子電流, 霍爾離子源 eH 400 尺寸和離子能量特別適合中小型的真空系統, 可以控制較低的離子能量, 通常應用于離子輔助鍍膜, 預清洗和低能量離子蝕刻.
尺寸: 直徑= 3.7“ 高= 3”
放電電壓 / 電流: 50-300eV / 5a
操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機前體
KRI 霍爾離子源 eH 400 特性
? 可拆卸陽極組件 - 易于維護; 維護時, 最大限度地減少停機時間; 即插即用備用陽極
? 寬波束高放電電流 - 均勻的蝕刻率; 刻蝕效率高; 高離子輔助鍍膜 IAD 效率
? 多用途 - 適用于 Load lock / 超高真空系統
? 高效的等離子轉換和穩定的功率控制
KRI 霍爾離子源 eH 400 技術參數:
型號 | eH 400 / eH 400 LEHO |
供電 | DC magnetic confinement |
- 電壓 | 40-300 V VDC |
- 離子源直徑 | ~ 4 cm |
- 陽極結構 | 模塊化 |
電源控制 | eHx-3005A |
配置 | - |
- 陰極中和器 | Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode |
- 離子束發散角度 | > 45° (hwhm) |
- 陽極 | 標準或 Grooved |
- 水冷 | 前板水冷 |
- 底座 | 移動或快接法蘭 |
- 高度 | 3.0' |
- 直徑 | 3.7' |
- 加工材料 | 金屬 |
- 工藝氣體 | Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors |
- 安裝距離 | 6-30” |
- 自動控制 | 控制4種氣體 |
* 可選: 可調角度的支架; Sidewinder
KRI 霍爾離子源 eH 400 應用領域:
? 離子輔助鍍膜 IAD
? 預清潔 Load lock preclean
? In-situ preclean
? Low-energy etching
? III-V Semiconductors
? Polymer Substrates
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發生產考夫曼離子源 Gridded 和霍爾離子源 Gridless. 美國考夫曼離子源歷經 40 年改良及發展已取得多項專利. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射沉積 IBSD 領域, 上海伯東是美國考夫曼離子源 (離子槍) 中國總代理.
若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :
上海伯東 : 羅先生 臺灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
伯東版權所有, 翻拷必究!
聯系方式
公司名稱 深圳伯東
聯系賣家 羅月
手機 䀋䀔䀑䀍䀋䀏䀔䀋䀍䀓䀌
地址 廣東省深圳市
聯系二維碼
羅月
䀋䀔䀑䀍䀋䀏䀔䀋䀍䀓䀌
掃碼查看 掃碼查看
手機掃碼 快速查看
在線客服 
