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SCF 系列1 Membralox陶瓷過濾技術
SCF 系列2 真正的世偉洛克RVCRR面密封接頭
SCF 系列3 在最大流速下對0.003 um的顆粒移除率超過99.9999999%
SCF 系列4 流速為2700標準升/分
Membralox陶瓷過濾技術 Membralox陶瓷過濾元件是多層過濾介質。材料是有精密控制孔隙結構的高純鋁。
Membralox陶瓷過濾技術2 Membralox陶瓷元件采用一種擠壓多流道塊狀或管狀結構。結構內流道的表面涂有精密控制膜層。最終燒結過程把這些層熔合在一起。
Membralox陶瓷過濾技術3 結果就得到具有顆粒脫落率極低、流量特性高特點的過濾元件。按照 SEMI F38-0699測試時,該過濾器的清除等級在0.003 um時為大于99.9999999 9%
Membralox陶瓷過濾技術4 Membralox陶瓷過濾元件具有耐高溫和化學穩定性能,以及優異的顆粒清除和漏氣特性。
結構材料 陶瓷過濾元件:高純鋁
結構材料1 墊片;高密度PTFE
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