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美國Teledyne-API-470-溶解臭氧分析儀
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470是最先進的溶解臭氧測量模塊,為半導體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設計,它能夠提供去離子水或硫酸中濃度高達150mg/L的溶解臭氧測量.470已完成"預備清潔"能夠滿足高純度半導體過程的需求,并且可簡單的直接拼接進任何濕法處理的環(huán)流回路中,最高支持150 SLPM的流量.
470型傳感器使用雙路取樣傳感技術,達到了無與倫比的性能,且擺脫了對參比液體測量的需求.
通常的安裝僅僅包括470傳感器和特氟龍7包裹的內部連接電纜,470傳感器能夠通過模擬或數字信號向濕法處理過程控制臺遠程報告測量的濃度.??
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