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廣州蘇盈電子科技-MEMS流量測量
使用 空氣流量計時，通過 過流式 流量計 推動 渦輪葉片 轉動 。 葉片 轉速 與流過 空氣流量計的氣量 成正比 。 流量計 口安裝 有一 特殊 設計 的 導流 架，隨著 流量 的增大 ，對進入 流量計的氣流 進行 加速 。 采用 導向 架可以 消除 渦流 、非對稱 流等潛在 流體 擾動 。 同時 ，推動 渦輪葉片 的動力 增加 。 在允許 的誤差 范圍 內，確保 高精度 測量 ，即使 在小流量 條件 下也能 測量 。 渦輪機 葉片 上的氣流 為軸向 運動 ，渦輪機 裝置 在主傳動軸 上，傳動軸 裝有 高強度 球軸承 。 空氣 經過 渦輪葉片 后，渦輪葉片 的旋轉 通過 齒輪 減速 。 風量 計入 通道 壓力 回退 ，通道 設計 保證 了流態 的優化 。

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流體 計量 是研究 物質 量變 的科學 ，質量 互變 規律 是事物 發展 的基本規律 ，因此 其測量 對象已不局限于 傳統意義 上的液體 管道 ，凡需掌握 量變 的地方 ，都存在 流量測量 的問題 。 流速、壓力 、溫度 均列為 三大 檢測 參數 。 對某一 特定 流體 ，只需知道 這三個 參數 即可 計算 出它具有 的能量 ，在能量轉換 測量 中必須 檢測 這三個 參數 。 能源 轉化 是所有 生產工藝 和科學試驗 的基礎 ，因此 ，流體 和壓力 、溫度表 一樣 被廣泛應用 。



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將能源 劃分 為一次能源 (煤、 、煤層氣 、 和 )、二次能源 (電力 、焦炭 、人工煤氣、成品油 、液化氣 、蒸汽 )和載能工質 (壓縮空氣 、氧、氮、氫、水)等。 能量 計量 是對能源 進行 科學管理 ，實現 節能降耗 ，提高 經濟效益 的重要 手段 。 用水 、人工 燃氣 、 、蒸汽 、石油 這幾種 常用 的能源 ，都采用 了極為 龐大 的流量計 ，在能源管理 和經濟核算中起著舉足輕重 的作用 。廢氣 、廢液 、污水 等排放 嚴重 污染 大氣 和水資源 ，嚴重威脅 著人類 的生存環境 。 21 世紀，國家 把可持續發展 列為 國策 ，環境保護 將成為 重中之重 。 要控制 大氣 、水的污染 ，必須加強管理，而治理 的基礎 是定量 控制 。

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熱式氣體質量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻（鉑RTD），一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質中時,需掌握量變的地方都有流量測量的問題。流量和壓力、溫度并列為三大檢測參數。對于一定的流體，只要知道這三個參數就可計算其具有的能量，在能量轉換的測量中必須檢測此三個參數。流量儀表是過程自動化儀表與裝置中的大類儀表之一，它被廣泛適用于冶金、電力、煤炭、化工、石油、交通、建筑、輕紡、食品、醫藥、農業、環境保護及人民日常生活等國民經濟各個領域，是發展工農業生產，節約能源，改進產品質量

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熱式氣體質量流量計是利用傳熱原理檢測流量的儀表，熱式氣體質量流量計有一體式和插入式兩種規格。

熱式氣體質量流量計管道式的可測量低流速氣體等微小流量，插入式更適合于大管徑。熱式質量流量計無活動部件，而且性能相對可靠

把分母的溫度差恒定，通過實時測量氣體帶走熱量H的大小來得到氣體的質量流量，這就是目前市場上主流的恒溫差熱式。如果把分子的熱量H恒定，實時測量溫度差的大小來得到氣體質量流量，就是恒功率熱式。

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熱式質量流量計加熱的速度傳感器封裝于不銹鋼管探針端部，并在傳感器和不銹鋼管內壁之間灌注混合物。該混合物必須電絕緣的同時又保證較小的熱阻，一般為環氧樹脂、陶制水泥、耐熱膏脂或者氧化、氧化等。介質的攜熱(流速)與加熱所需的供電電流成正比，因此介質溫度與介質的比熱是關鍵參數。流量計轉換器中儲存了60多種常規氣體比熱轉換系數，設置為基體單一潔凈氣體。但在現場實際測量中，介質純度并不那么高。雖然流量計的設計精度沒有下降,熱式質量流量計廣泛應用于環保和工業中。熱式質量流量計一般在測量氣體時必須是干燥的氣體，不能含有水分。

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價格相較于科里奧利質量流量計便宜很多。量程比窄是孔板流量計的一大缺點，但是近年來蓬勃發展雙量程孔板流量計，能將其量程比擴大到33倍，而且達到1.0％不確定度，從而彌補了該缺陷。高純氣體的純度極高，組分的變化完全可以忽略不計，因此，氣體的密度除了受溫度、壓力及壓縮系數影響之外，無其他因素。即使質量流速低到0.1Nm/s都有很好的線性。此外還具有快速響應的能力。恒功率原理可以檢測較高的流速變化，在大流速應用場合有非常好的表現力，但低流速特性不如恒溫差，其次響應時間相對于恒溫差較差。

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熱式氣體質量流量計大都采用開路的負壓空氣標定，然后修正到高壓力工況，或者修正到其他氣體，比如氣、二氧化碳、氧氣、氫氣、氨氣等等。修正標定必然導致測量精度不能保證，恒溫差原理具有非常好的的低流量特性，即使質量流速低到0.1Nm/s都有很好的線性。此低壓標定后的表應用在高壓工況，空氣介質標定后的表應用在其他氣體介質，測量精度無法保證。然后修正到高壓力工況，或者修正到其他氣體，比如氣、二氧化碳、氧氣、氫氣、氨氣等等。

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浸入式 大部分浸入式TMF性能不受安裝姿勢影響。然而在低流速測量時因受管道內氣體對流的熱流影響，使安裝姿勢顯得重要。因此在低和非常低流速流動時要獲得測量,熱氣體質量流量計是一種用于測量各種氣體流量的儀器，不僅具有測量精度高、穩定性好的優點，而且在長期使用中可以提高企業的使用成本。使用空氣流量計時，通過過流式流量計推動渦輪葉片轉動。葉片轉速與流過空氣流量計的氣量成正比。流量計口安裝有一特殊設計的導流架，隨著流量的增大，對進入流量計的氣流進行加速。采用導向架可以消除渦流、非對稱流等潛在流體擾動。同時，推動渦輪葉片的動力增加。