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千級凈化車間凈化標準 無塵室凈化工程設計安裝_愛德

千級凈化車間黃光區操作須知

1. 濕度及溫度會影響對準工作，在黃光區應注意溫度及濕度，并應減少對準機附近的人，以減少濕、溫度的變化。

2. 上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得攜出黃光區以免感光。

3. 己上妥光阻，而在等待對準曝光之芯片，應放置于不透明之藍黑色晶盒之內， 盒蓋必須蓋妥。

4. 光罩使用時應持取邊緣，不得觸及光罩面，任何狀況之下，光罩鉻膜不得與他物接觸，以防刮傷，光罩之落塵可以氮槍吹之。

5. 曝光時，應避免用眼睛直視曝光機汞燈。

四、鑷子使用須知1. 進入實驗室后，應先戴上手套后，再取鑷子，以免沾污。

2. 唯有使用干凈的鑷子，才可持取芯片，鑷子一旦掉在地上或被手觸碰，或因其它原因而遭污染，必須拿去清洗，方可再使用經指示，絕不可開啟不熟悉的儀器及各種開關閥控制鈕或把手。奇怪的味道或反應異常的溶液，顏色，聲響等請即通知相關人員。

儀器因操作錯誤而有任何損壞時，務必立刻告知負責人員或老師。 芯片盒進出無塵室須保持干凈，并以保鮮膜封裝，違者不得進入。無塵室內一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄，一般紙張與鉛筆不得攜入。。