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無塵車間

星源潔凈

無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室、無塵室。由于生產工藝種類繁多，對潔凈度等級要求也不同，高的很高，低的很低；對粒子粒徑控制的要求也不同，范圍約為0.1~5um；對溫濕度控制的要求相對較 高，如集成電路前道工序一般要求室內溫度基數為22℃（精度±0.1~±1℃），相對濕度基數為40%（精度±2~±5℃；正壓值要求的梯度級別，隨著潔凈度的變化而從高到低變化，差值5~10Pa。