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ICP感應耦合等離子體刻蝕機-大族等離子清洗機
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發貨地 廣東省深圳市
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品牌 大族激光
訂貨號 等離子處理機
型號 等離子處理機
電源電壓 詳情咨詢客服（V）
功率 詳情咨詢客服（W）
空氣源 詳情咨詢客服
規格 垂直式PCB軟板等離子除膠機,在線式氬
適用范圍 詳情咨詢客服
商品介紹
感應耦合等離子刻蝕機（Inductively CoupledPlasma Etch，簡稱ICPE）是化學過程和物理過程共同作用的結果。它的基本原理是在真空低氣壓下，ICP 射頻電源產生的射頻輸出到環形耦合線圈，以一定比例的混合刻蝕氣體經耦合輝光放電，產生高密度的等離子體，在下電極的RF 射頻作用下，這些等離子體對基片表面進行轟擊，基片圖形區域的半導體材料的化學鍵被打斷，與刻蝕氣體生成揮發性物質，以氣體形式脫離基片，從真空管路被抽走。
結構ICP 設備主要包括預真空室、刻蝕腔、供氣系統和真空系統四部分。
（1）預真空室
預真空室的作用是確?？涛g腔內維持在設定的真空度，不受外界環境（如：粉塵、水汽）的影響，將危險性氣體與潔凈廠房隔離開來。它由蓋板、機械手、傳動機構、隔離門等組成。
（2）刻蝕腔體
刻蝕腔體是ICP 刻蝕設備的核心結構，它對刻蝕速率、刻蝕的垂直度以及粗糙度都有直接的影響?？涛g腔的主要組成有：上電極、ICP 射頻單元、RF 射頻單元、下電極系統、控溫系統等組成。
（3）供氣系統
供氣系統是向刻蝕腔體輸送各種刻蝕氣體，通過壓力控制器（PC）和質量流量控制器（MFC）精準的控制氣體的流速和流量。氣體供應系統由氣源瓶、氣體輸送管道、控制系統、混合單元等組成。
（4）真空系統
真空系統有兩套，分別用于預真空室和刻蝕腔體。預真空室由機械泵單獨抽真空，只有在預真空室真空度達到設定值時，才能打開隔離門，進行傳送片?？涛g腔體的真空由機械泵和分子泵共同提供，刻蝕腔體反應生成的氣體也由真空系統排空
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公司名稱 大族激光科技產業集團股份有限公司
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地址 廣東省深圳市
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