Hitachi離子研磨儀 IM4000 Plus
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Hitachi離子研磨儀-IM4000-Plus

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作用 SEM前道處理
樣品大小 最大可達20x12x7mm
公司地址 上海
原產地 日本
制樣模式 旋轉,擺動可選
特點 樣品無應力損傷
商品介紹

特點

高通量的斷面研磨

配備斷面研磨能力達到500 μm/h*2以上的率離子。因此,即使是硬質材料,也可以地制備出斷面樣品。

*2   在加速電壓6 kV下,將Si從遮擋板邊緣伸出100 μm并加工1小時時的深度

斷面研磨

● 即使是由硬度以及研磨速度不同的成分所構成的復合材料,也可以制備出平滑的斷面樣品

● 優化加工條件,減輕損傷

● 可裝載20 mm(W) × 12 mm(D) × 7 mm(H)的樣品

斷面研磨的主要用途

● 制備金屬以及復合材料、高分子材料等各種樣品的斷面

● 制備用于分析開裂和空洞等缺陷的斷面

● 制備評價、觀察和分析所用的沉積層界面以及結晶狀態的斷面

斷面研磨加工原理圖


平面研磨(Flat Milling?

● 均勻加工成直徑約為5mm的范圍

● 可運用于符合其目的的廣泛領域

● 可裝載直徑50 mm × 厚度25 mm的樣品

● 可選擇旋轉和擺動(±60度~±90度的翻轉)2種加工方法

 

平面研磨(Flat Milling?)的主要用途

● 去除機械研磨中難以消除的細小劃痕和形變

● 去除樣品的表層

● 消除FIB加工的損傷

 

 

平面研磨(Flat Milling?)加工原理圖

與日立SEM的樣品結合

● 樣品無需從樣品臺取下,就可直接在SEM上進行觀察。

● 在抽出式的日立SEM上,可按照不同的樣品分別設置截面、平面研磨桿,因此,在SEM上觀察之后,可根據需要進行再加工。

 

功能

 

冷卻溫度調節功能*1

附冷卻溫度調節功能的IM4000PLUS
附冷卻溫度調節功能的IM4000PLUS

 

 

該功能可有效防止加工過程中,由于離子束照射引發的樣品的溫度上升,所導致樣品的溶解和變形。對于過度冷卻后會產生開裂的樣品,通過冷卻溫度調節功能可防止其因過度冷卻而產生開裂。

 

*1     此調節功能不是IM4000PLUS的標配功能,而是配有冷卻溫度調節功能的IM4000PLUS功能。

 

樣品:鉛焊料

 
常溫研磨
常溫研磨

冷卻研磨
冷卻研磨

 

選項

大氣隔離樣品桿

大氣隔離樣品桿,可讓樣品在不接觸空氣的狀態下進行研磨。

密封蓋將樣品密閉,進入真空排氣的樣品室后,打開密封蓋。如此,離子研磨加工后的樣品可以在不接觸空氣的狀態下直接設置到SEM*1、FIB*1、AFM*2上。*1    僅支持附帶大氣隔離樣品更換室的日立FE-SEM和FIB。

*2    僅支持真空型日立AFM。

 

鋰離子電池負(充電后)

大氣隔離
















 

大氣暴露

用于加工時觀察的立體顯微鏡

IM4000、IM4000PLUS通過設置在樣品室上方的立體顯微鏡,可觀察到研磨過程中的樣品。
如果是三目型,則可以通過CCD攝像頭*3進行觀察。

*3    CCD攝像頭以及器由客戶準備。

 

規格 

項目 內容 

IM4000PLUS IM4000PLUS 

斷面研磨桿 平面研磨桿 

使用氣體 Ar(氬)氣 

加速電壓 0 ~ 6 kV 

研磨速度(Si材料) 500 μm/hr*1 以上 - 

樣品尺寸 20(W)× 12(D)× 7(H)mm Φ50 × 25(H) mm 

離子束

間歇照射功能 標配 

尺寸  616(W)× 705(D)× 312(H)mm 

重量  機體48 kg+回轉泵28 kg 

附冷卻溫度調節功能的IM4000PLUS 

冷卻溫度調節功能 通過液氮間接冷卻樣品、溫度設定范圍:0°C ~ -100°C 

選項 

空氣隔離

樣品夾持器 僅支持斷面研磨夾持器 - 

FP版斷面研磨夾持器 100 μm/rotate*2 - 

用于加工的顯微鏡 倍率 15 × ~ 100 × 雙目型、三目型(支持CCD) 

*1 將Si從遮擋板邊緣伸出100 μm并加工1小時的深度

*2 千分尺旋轉1圈時的遮擋板移動量。斷面研磨夾持器比為1/5 

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公司名稱 似空科學儀器(上海)有限公司
聯系賣家 張經理 (QQ:965390001)
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地址 上海市