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水性光刻膠-Futurrex-玻璃光刻膠公司
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二、預烘和底膠涂覆(Pre-bake and Primer Vapor)
由于光刻膠中含有溶劑,所以對于涂好光刻膠的硅片需要在80度左右的。硅片脫水烘焙能去除圓片表面的潮氣、增強光刻膠與表面的黏附性、通常大約100 °C。這是與底膠涂覆合并進行的。
底膠涂覆增強光刻膠(PR)和圓片表面的黏附性。廣泛使用: (HMDS)、在PR旋轉涂覆前HMDS蒸氣涂覆、PR涂覆前用冷卻板冷卻圓片。
PR1-1000A1光刻膠光刻膠
5,顯影液
在已經曝光的硅襯底膠面噴淋顯影液,或將其浸泡在顯影液中,正膠是曝光區、而負膠是非曝光區的膠膜溶入顯影液,膠膜中的潛影顯現出來,形成三維圖像。
顯影完成后通常進行工藝線的顯影檢驗,通常是在顯微鏡下觀察顯影效果,顯影是否徹底、光刻膠圖形是否完好。
影響顯影的效果主要因素:
1,曝光時間,2前烘溫度和時間,3光刻膠膜厚,4顯影液濃度溫度,5顯影液的攪動情況。
以下是賽米萊德為您一起分享的內容,賽米萊德專業生產光刻膠,歡迎新老客戶蒞臨。
光刻膠市場空間與半導體的分不開。2012-2018年全球半導體市場規模復合增速8.23%,在全球半導體行業的快速發展下,全球半導體光刻膠市場持續增長。
而國內市場,因全球半導體、液晶面板以及消費電子等產業向國內轉移,對光刻膠需求量迅速增量。
但是遠遠不夠,從全球光刻膠的市場競爭格局來看,光刻膠市場主要由日韓企業主導,國內企業市場份額集中在低端的PCB光刻膠上,高技術壁壘的LCD 和半導體光刻膠主要依賴進口。根據某些數據顯示,國內光刻膠產值當中,PCB光刻膠的占比高達95%,半導體光刻膠和LCD光刻膠產值占比都僅有2%。
由上分析可知,我國目前在光刻膠領域急需技術突破的。
