

北京賽米萊德貿易有限公司
主營產品: 其他電工電氣輔材
半導體光刻膠品牌-無機光刻膠-固體光刻膠品牌
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¥5000.00
≥1
店鋪主推品 熱銷潛力款
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20.有沒有光刻膠PC3-6000的資料嗎?
A PC3-6000并不是光刻膠,它是用在chip
on glass 上的膠粘劑。
21.是否有Wax替代品?
A PC3-6000可替代Wax做晶片和玻璃的固定,比較容易去除掉。
22.貴公司是否有粘接硅襯底和襯底的材料?
A 有,IC1-200就是
23.請問是否有不用HMDS步驟的正性光刻膠?
A 美國Futurrex 整個系列的光刻膠都不需要HMDS步驟,都可以簡化。
24.一般電話咨詢光刻膠,我們應該向客戶咨詢哪些資料?
A 1 需要知道要涂在什么材質上,2
還有要知道需要做的膜厚,3
還要知道光刻膠的分辨率
4還有需要正膠還是負膠,5
需要國產還是進口的
27.想找一款膜厚在120um,的光刻膠,有什么光刻膠可以做到啊!
A 以前有使用過美國有款光刻膠可以達到Futurrex
NR21-20000P ,。
28.有沒有了解一款美國Futurrex
NR9-250P的光刻膠,請教下?
A 這是一款負性光刻膠,濕法蝕刻使用的,附著力很好,耐100度的溫度,國內也有可以代理的公司,Futurre
光刻膠是世界第4大的電子化學品制造商,在光刻膠的領域有著不錯的聲譽,在太陽能光伏,和LED半導體行業都有不錯的市場占有率。
29.想找款膜厚的產品,進行蝕刻,有什么好推薦?
A 厚膜應用(thick
film applicati),主要是指高縱橫比(Aspect
ratios),高分辨率,高反差,有幾款產品向你推薦一下《NR4-8000P,NR2-20000P,NR5-8000,這些產品都需要用到邊膠清洗液》
的光刻
光刻膠的參數
賽米萊德專業生產、銷售光刻膠,我們為您分析該產品的以下信息。
分辨率
分辨率英文名:resolution。區別硅片表面相鄰圖形特征的能力,一般用關鍵尺寸(CD,Critical Dimension)來衡量分辨率。形成的關鍵尺寸越小,光刻膠的分辨率越好。
對比度
對比度(Contrast)指光刻膠從曝光區到非曝光區過渡的陡度。對比度越好,形成圖形的側壁越陡峭,分辨率越好。
敏感度
敏感度(Sensitivity)光刻膠上產生一個良好的圖形所需一定波長光的能量值(或曝光量)。單位:毫焦/平方厘米或mJ/cm2。光刻膠的敏感性對于波長更短的深紫外光(DUV)、極深紫外光(EUV)等尤為重要。
粘滯性黏度
粘滯性/黏度(Viscosity)是衡量光刻膠流動特性的參數。粘滯性隨著光刻膠中的溶劑的減少而增加;高的粘滯性會產生厚的光刻膠;越小的粘滯性,就有越均勻的光刻膠厚度。光刻膠的比重(SG,Specific Gravity)是衡量光刻膠的密度的指標。它與光刻膠中的固體含量有關。較大的比重意味著光刻膠中含有更多的固體,粘滯性更高、流動性更差。粘度的單位:泊(poise),光刻膠一般用厘泊(cps,厘泊為1%泊)來度量。百分泊即厘泊為粘滯率;運動粘滯率定義為:運動粘滯率=粘滯率/比重。 單位:百分斯托克斯(cs)=cps/SG。
粘附性
粘附性(Adherence)表征光刻膠粘著于襯底的強度。光刻膠的粘附性不足會導致硅片表面的圖形變形。光刻膠的粘附性必須經受住后續工藝(刻蝕、離子注入等)。
抗蝕性
抗蝕性(Anti-etching)光刻膠必須保持它的粘附性,在后續的刻蝕工序中保護襯底表面。耐熱穩定性、抗刻蝕能力和抗離子轟擊能力。
表面張力
液體中將表面分子拉向液體主體內的分子間吸引力。光刻膠應該具有比較小的表面張力(Surface Tension),使光刻膠具有良好的流動性和覆蓋。
光刻膠相關知識
光刻開始于一種稱作光刻膠的感光性液體的應用。圖形能被映射到光刻膠上,然后用一個developer就能做出需要的模板圖案。光刻膠溶液通常被旋轉式滴入wafer。如圖2.5所示,wafer被裝到一個每分鐘能轉幾千轉的轉盤上。幾滴光刻膠溶液就被滴到旋轉中的wafer的中心,離心力把溶液甩到表面的所有地方。光刻膠溶液黏著在wafer上形成一層均勻的薄膜。多余的溶液從旋轉中的wafer上被甩掉。薄膜在幾秒鐘之內就縮到它后期的厚度,溶劑很快就蒸發掉了,wafer上就留下了一薄層光刻膠。然后通過烘焙去掉后面剩下的溶劑并使光刻膠變硬以便后續處理。鍍過膜的wafer對特定波成的光線很敏感,特別是紫外(UV)線。相對來說他們仍舊對其他波長的,包括紅,橙和黃光不太敏感。所以大多數光刻車間有特殊的黃光系統。
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