

北京賽米萊德貿易有限公司
主營產品: 其他電工電氣輔材
正向光刻膠品牌-Futurrex-近紅外光刻膠公司
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光刻膠介紹
光刻膠是一種對光線、溫度、濕度十分敏感的材料,可以在光照后發(fā)生化學性質的改變,這是整個工藝的基礎。
光刻膠有不同的類型,PMMA(PMGI)以及DNQ(酚醛樹脂)等材料都可以做光刻膠。
目前光刻膠市場上的參與者多是來自于美國、日本、韓國等國家,包括 FUTURREX、陶氏化學、杜邦、富士膠片、信越化學、住友化學、LG化學等等,中國公司在光刻膠領域也缺少核心技術。
光刻工藝主要性一
光刻膠不僅具有純度要求高、工藝復雜等特征,還需要相應光刻機與之配對調試。一般情況下,一個芯片在制造過程中需要進行10~50道光刻過程,由于基板不同、分辨率要求不同、蝕刻方式不同等,不同的光刻過程對光刻膠的具體要求也不一樣,即使類似的光刻過程,不同的廠商也會有不同的要求。
針對不同應用需求,光刻膠的品種非常多,這些差異主要通過調整光刻膠的配方來實現。因此,通過調整光刻膠的配方,滿足差異化的應用需求,是光刻膠制造商核心的技術。
此外,由于光刻加工分辨率直接關系到芯片特征尺寸大小,而光刻膠的性能關系到光刻分辨率的大小。限制光刻分辨率的是光的干涉和衍射效應。光刻分辨率與曝光波長、數值孔徑和工藝系數相關。
美國Futurre光刻膠
30.想請教國產光刻膠不能達到膜厚要求,進口的有沒有比較好的光刻膠啊?
都可以啊!goodpr是大陸比較多公司采用的,
但是Futurre 光刻膠在國外是比較有名氣的,包括很多大型企業(yè)都有用,膜厚做的也
比較厚從18um-200um都 可以做到,看你對工藝的要求了。
光刻膠品牌FUTURRE光刻膠產品屬性:
1 FUTURRE光刻膠產品簡要描述及優(yōu)勢:
1.1 Futurre光刻膠黏附性好,無需使用增粘劑(HMDS)
1.2 負性光刻膠常溫下可保存3年
1.3 150度烘烤,縮短了烘烤時間
1.4 單次旋涂能夠達到100um膜厚
1.5 顯影速率快,100微米的膜厚,僅需6~8分鐘
