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正負光刻膠-Futurrex-透明光刻膠公司
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光刻膠由光引發劑、樹脂、溶劑等基礎組分組成,又被稱為光致抗蝕劑,這是一種對光非常敏感的化合物。此外,光刻膠中還會添加光增感劑、光致產酸劑等成分來達到提高光引發效率、優化線路圖形精密度的目的。在受到紫外光曝光后,它在顯影液中的溶解度會發生變化。
分類
根據光刻膠按照如何響應紫外光的特性可以分為兩類。
正膠
曝光前對顯影液不可溶,而曝光后變成了可溶的,能得到與掩模板遮光區相同的圖形。
優點:分辨率高、對比度好。
缺點:粘附性差、抗刻蝕能力差、高成本。
靈敏度:曝光區域光刻膠完全溶解時所需的能量
負膠egativePhoto Resist)
與正膠反之。
優點: 良好的粘附能力和抗刻蝕能力、感光速度快。
缺點: 顯影時發生變形和膨脹,導致其分辨率。
靈敏度:保留曝光區域光刻膠原始厚度的50%所需的能量。
光刻膠的組成
以下內容由賽米萊德為您提供,希望對同行業的朋友有所幫助。
樹脂( resin/polymer),光刻膠中不同材料的粘合劑,給與光刻膠的機械與化學性質( 如粘附性、膠膜厚度、熱穩定性等);感光劑,感光劑對光能發生光化學反應;溶劑(Solvent),保持光刻膠的液體狀態,使之具有良好的流動性;添加劑( Additive ),用以改變光刻膠的某些特性,如改善光刻膠發生反射而添加染色劑等。負性光刻膠。樹脂是聚異戊二烯,一-種天然的橡膠;溶劑是;感光劑是一種經過曝光后釋放出氮氣的光敏劑,產生的自由基在橡膠分子間形成交聯。從而變得不溶于顯影液。負性光刻膠在曝光區由溶劑引起泡漲;曝光時光刻膠容易與氮氣反應而抑制交聯。
光刻膠的作用
光刻開始于-種稱作光刻膠的感光性液體的應用。 圖形能被映射到光刻膠上,然后用一個developer就能做出需 要的模板圖案。光刻膠又稱光致抗蝕劑,是以智能
管感光材料,在光的照射與溶解度發生變化。
光刻膠成份
光刻膠通常有三種成分:感光化臺物、基體材料和溶劑。在感光化臺物中有時還包括增感劑。根據光刻膠按照如何響應紫外光的特性可以分為兩類:負性光刻膠和
正性光刻膠。
1、負性光刻膠
主要有聚酸系(聚酯膠)和環化橡膠系兩大類
2、正性光刻膠
主要以重氮醒為感光化臺物,以酚醛樹脂為基體材料。正膠的主要優點是分辨率高,缺點是靈敏度、耐刻蝕性和附著性等較差。
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