

北京波恩儀器儀表測控技術有限公司
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波恩儀器銷售德國SENTECH-SENpro經濟型可變入射角光譜橢偏儀-低成本的光譜橢偏儀
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波恩儀器銷售德國SENTECH SENpro經濟型可變入射角光譜橢偏儀 低成本的光譜橢偏儀
成本效益
SENpro是具成本效益的光譜橢偏儀,同時不影響先進測量性能。
可變入射角
光譜橢偏儀SENpro包括可變入射角的角度計,40°—90°,步進值5°,用于優化橢偏測量。
步進掃描分析器
SENpro具有獨特的步進掃描分析器。在數據采集過程中,偏振器和補償器固定,以提供高的橢偏測量精度。
光譜橢偏儀SENpro具有操作簡單,測量速度快,能對不同入射角的橢偏測量數據進行組合分析等特點。光譜范圍為370到1050 nm。SENpro的光譜范圍與精密的SpectraRay/4軟件相結合,可以輕易地確定單層膜和復合層疊膜的厚度和折射率。
具有成本效益的桌面式SENpro包括可見光到近紅外橢偏儀光學,5°步進角度計,樣品臺、激光準直器、光纖耦合穩定光源和探測器單元。SENpro配備了用于系統控制和數據分析的光譜橢偏儀軟件SpectraRay/4 ,用于包括建模,擬合和報告輸出。即使對于初學者,該程序文件操作都非常容易。SpectraRay/4 支持計算機控制的用于均勻性測量的自動掃描。
SENpro專注于薄膜測量的速度和精度,不管是何種薄膜應用。測量范圍從1 nm的薄層膜到15 μm的厚層膜。
對于各種各樣的應用,SpectraRay/4都提供了預定義的配方。


SENpro 是全新的經濟型光譜橢偏儀的代表, 操作簡易, 多角度或單角度入射快速測量并分析數據。 SENpro可測量單層膜或多層膜的膜厚、折射率和消光系數。也能夠測量各角度入射反射光譜和透射光譜,并同橢偏測量數據結合分析。使用補償器,可自動糾正非理想薄膜導致的退偏效應。
SENpro 帶有光譜橢偏儀分析軟件 SpectraRay LT,可對系統硬件控制和數據分析, 如測量數據、建模、擬合和輸出結果。
主要應用:
1,測量透明薄膜的厚度和折射率(厚度范圍0.1 nm - 10,000 nm),可工作于透明或吸收基底。
2,測量多層膜
3,分析非晶硅、多晶硅薄膜和SOI膜
4,測量光刻膠的光學常數
5,分析有機薄膜
6,測量各向異性材料和薄膜

