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電催化氧化工藝集低溫等離子體、微波放電、極板放電與一體，在實際使用中實現廢氣的有效處理是極為復雜的過程，整個過程在不到1秒的時間內完成。從理論到模型都能探究到相關的機理，通過三種方式的集中放電，廢氣分子從低能的E,在千分之一秒的時間內躍遷到足以使其電離的Em級，廢氣分子鍵充分斷裂，在雪崩式的撞擊中斷裂后的粒子由于質量更小，被進一步躍遷，與反應堆內的氧離子氫氧根離子發生反應，生成無害無味的CO2、H2O以及其它高價化合物。同時由于反應堆內臭氧以及紫外線的作用，徹底去除不同范疇的廢氣化合物，實地較為廣譜的去除空間。

等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場+電子→高能電子
(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基 團
(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱

等離子廢氣凈化器可用于煉油廠、橡膠廠、化工廠、制藥廠、污水處理廠等惡臭氣體的脫臭凈化處理。
惡臭氣體主要來源
硫化氫：
牛皮紙漿、煉油、煉焦、石化、煤氣、糞便處理、二硫化碳的生產或加工。
硫醇類：
牛皮紙漿、煉油、煤氣、制藥、農藥、合成樹酯、合成纖維、橡膠。
硫醚類：
牛皮紙漿、煉油、農藥、垃圾處理、生活污水下水道 。
氨：
氮肥、硝酸、煉焦、糞便處理、肉類加工。
胺類：
水產加工，畜產加工、皮革、骨膠。
吲哚類：
糞便處理、生活污水處理、煉焦、肉類腐爛、屠宰牲畜。
硝基：
燃料、 。
烴類：
煉油、煉焦、石油化工、電石、化肥、內燃機排氣、油漆、溶劑、油墨印刷 。
醛類：
煉油、石油化工、醫藥、內燃機排氣、垃圾處理、鑄造。