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光氧催化設備采用高能高臭氧UV紫外線光束、氧化反應催化劑、高能離子發生裝置的組合工藝來降解有機廢氣，改變惡臭、刺激型氣體如：氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，通過高能紫外線光束照射、催化劑的氧化反應、正氧離子的氧化反應，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。