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美國ZYGO帶軟件6寸干涉儀 激光干涉儀

本公司現有美國原裝4寸   6寸激光干涉儀出售：配置有電腦設備原裝軟件一個平面的鏡頭  支架。
隨著科技的進步,現代干涉測量技術具有量程大、精度高、分辨率高以及操作方便等優點,在各項領域得到了廣泛的應用。根據ZYGO干涉儀測量方案構建了一個測量樣品面形的實驗光路,并對一系列樣品進行測量,通過對標準鏡與被測樣品表面之間所夾空氣層的干涉圖像分析,可以得到被測樣品的表面面形狀況,并可以通過MetroPro軟件直接讀取波峰波谷值PV、均方值rms、矢高Power、干涉條紋圖、截面面形高度圖、面形厚度假色圖等,測量精度達到儀器指標。本文研究測量原理,擴展ZYGO干涉儀對測量薄膜厚度和曲率半徑的應用。

主要參數1、干涉儀主機配計算機及操作軟件，激光穩頻，QPSI抗震移相,精度1/10 Wave（PV）；

2、球面標準鏡尺寸為4，精度為1/10 Wave（PV）；

3、平面標準鏡尺寸為4，精度為1/20 Wave（PV）；

4、五維調整架（xy偏心，xy俯仰，z軸平移，繞z軸旋轉）與自定心夾具配合，最大夾持尺寸為4；

5、精密直線導軌形成1m，最小位移0.020 μm，精度±4.0 μm；

6、主動隔振光學平臺，長/寬/高（mm）2400/1500/200，0.5-10HZ振動隔離

GPI? XP/D激光干涉儀--運用移相干涉原理，提供高精度的平面面形，球面面形，曲率半徑，樣品表面質量，傳輸波前的測量和分析。

GPI? XP/D是ZYGO在中國甚至全世界市場占有率最高的一款激光干涉儀，廣泛應用于科研教學和生產檢測中。GPI? XP/D主機為Fizeau型干涉儀，測量精度高且操作簡單，采用精密移相技術和高分辨率CCD接收器件640Х480（可以升級為1024×1024），配合功能強大的MetroPro?軟件可以獲得高重復性和高精度的測量結果，其三平板絕對測量重復性優于λ/300，rms重復性優 于λ/10,000。并能模擬樣品表面面形，并顯示鮮明的，可旋轉的3D彩色圖像，可選的剖面圖以及各種統計數字結果等。同時，針對特殊的樣品、 特殊的測量需求，可以為用戶設計定制特殊的測量系統，結合MetroPro?軟件，為用戶提供完美的技術解決方案并獲得滿意的測量結果。

可應用于：

? 平面和球面的面形檢測

? 平面楔角測量、直角棱鏡的直角偏差和任意角度的加工偏差

? 光學材料均勻性測量

? 角錐角度和面形偏差測量

? 精密盤片質量檢驗

? 三平板絕對測量

? 雙球面絕對測量

? 靜態干涉條紋判斷

? 澤尼克多項式分析

? 球面曲率半徑測量