

北京賽米萊德貿易有限公司
主營產品: 其他電工電氣輔材
正負光刻膠品牌-干膜光刻膠公司-半導體光刻膠品牌-Futurrex
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光刻膠存儲條件及操作防護
光刻膠是一種可燃液體,儲存條件應符合對應的法規,不要與強氧化劑混合,存放在通風良好的地方,保持容器密閉,避免吸入蒸汽或霧氣,避免接觸眼睛、皮膚或衣服,操作后徹底清洗。
個人防護
眼睛:佩戴化學飛濺護目鏡。
皮膚:戴上適當的防護手套防止皮膚暴露。
服裝:穿戴合適的防護服防止皮膚暴露。
呼吸器:無論何時在工作環境下呼吸保護必須遵循中國職業安全健康管理局標準的規定和ANSI美國國家標準學會Z88.2的相關要求,或必須執行歐洲呼吸防護EN 149的標準。
光刻膠:半導體技術壁壘的材料之一
光刻是整個集成電路制造過程中耗時長、難度大的工藝,耗時占IC制造50%左右,成本約占IC生產成本的1/3。光刻膠是光刻過程重要的耗材,光刻膠的質量對光刻工藝有著重要影響。
賽米萊德——專業生產、銷售光刻膠,我們公司堅持用戶為上帝,想用戶之所想,急用戶之所急,以誠為本,講求信譽,以產品求發展,以質量求生存,我們熱誠地歡迎各位同仁合作共創輝煌。
光刻膠相關知識
光刻開始于一種稱作光刻膠的感光性液體的應用。圖形能被映射到光刻膠上,然后用一個developer就能做出需要的模板圖案。光刻膠溶液通常被旋轉式滴入wafer。如圖2.5所示,wafer被裝到一個每分鐘能轉幾千轉的轉盤上。幾滴光刻膠溶液就被滴到旋轉中的wafer的中心,離心力把溶液甩到表面的所有地方。光刻膠溶液黏著在wafer上形成一層均勻的薄膜。多余的溶液從旋轉中的wafer上被甩掉。薄膜在幾秒鐘之內就縮到它后期的厚度,溶劑很快就蒸發掉了,wafer上就留下了一薄層光刻膠。然后通過烘焙去掉后面剩下的溶劑并使光刻膠變硬以便后續處理。鍍過膜的wafer對特定波成的光線很敏感,特別是紫外(UV)線。相對來說他們仍舊對其他波長的,包括紅,橙和黃光不太敏感。所以大多數光刻車間有特殊的黃光系統。
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