UNIPOL-1203化學機械磨拋機
UNIPOL-1203化學機械磨拋機
UNIPOL-1203化學機械磨拋機
UNIPOL-1203化學機械磨拋機
UNIPOL-1203化學機械磨拋機
UNIPOL-1203化學機械磨拋機

UNIPOL-1203化學機械磨拋機

價格

訂貨量(臺)

￥2.00

≥1

聯系人 顏經理 經理

掃一掃添加商家

钳钼钺钹钸钷钵钴钵钴钴

發貨地 上海市嘉定區
進入商鋪
掃碼查看

掃碼查看

手機掃碼 快速查看

在線客服

商品參數
|
商品介紹
|
聯系方式
加工定制 是
工作臺： 尺寸800mm×600mm×700mm，承重200kg以上
電： AC220V 50Hz，必須有良好接地
參數 超精旋轉軸（托盤端跳小于0.01mm）。
型號 UNIPOL-1203
名稱 化學機械磨拋機
功率: 450W
其他 見說明
商品介紹

產品簡介：UNIPOL-1203化學機械磨拋機，適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術， 整機研磨部分采用防腐材料，耐化學腐蝕，配置自動滴料器和精密磨拋控制儀，全自動觸摸屏面板，從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。 

 

產品名稱

UNIPOL-1203化學機械磨拋機

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設備配有上水口及下水口，需自行連接自來水及下排水

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：無

4、工作臺：尺寸800mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通風裝置：不需要

主要特點

1、超平不銹鋼拋光盤（平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm）。

2、超精旋轉軸（托盤端跳小于0.01mm）。

3、設有兩個加工工位，可分別進行控制。

4、配有全自動控制觸摸屏面板，可設置主軸轉速、擺臂速度、磨拋時間。

5、配置自動滴料器，流量速率可視化調整，自動研磨和拋光。

6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀，可調節壓力，修整面型，使磨拋更加方便快捷。

7、研磨部分采用防腐材料，耐化學腐蝕。

技術參數

主機部分

GPC-100A精密磨拋控制儀

自動滴料器

1、電源:220V

2、功率:450W

3、磨拋盤轉速:10-240rpm

4、磨拋工位:2個

5、擺臂調節檔位:1-15檔

6、托盤端跳:0.008/250mm

7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm

8、載樣盤:φ105mm

9、修盤環:φ127.5mm

 

 

1、載樣盤直徑：?103mm

2、載樣盤軸向行程：12mm

3、數顯表精度：0.001mm

4、載樣盤可調加載壓力：

            0.1kg-2.1kg

5、壓力確認儀有效量程：1g-5000g

6、樣品裝卡方式：真空吸附

7、承載樣件尺寸：

  直徑≤103mm、 厚度≤12mm

8、尺寸：外徑146mm，高266mm

 

SKZD-2滾筒滴料器

1、容積：1.5L

2、流量：0-35ml/min

3、尺寸：170×290×350mm；

  重量：3kg

SKZD-4自動滴料器

1、加液泵：4個

2、料液瓶：600ml/瓶

3、計時范圍：1-999min

4、流量：0.1ml/min-10ml/min

5、尺寸：230×370×450mm；

  重量：10kg

產品規格

1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm

2、重量:74Kg

標準配件

1

鑄鐵研磨盤1個研磨盤

2

不銹鋼拋光盤

1個

3

載物盤

1個

4

修盤環

1個

5

SKZD-2滴料器

1個

滴料器

6

SKZD-4自動滴料器

1個

滴料器

7

GPC-100A精密磨拋控制儀

1個

8

拋光墊

（磨砂革、合成革、聚氨酯）

各1片

9

剛玉研磨微粉

0.5kg

10

石蠟棒

4根

可選配件

1、YJXZ-12攪拌循環泵

2、精密測厚儀

3、陶瓷研磨盤

4、玻璃研磨盤

5、磁性樹脂金剛石研磨片

聯系方式
公司名稱 上海群弘儀器設備有限公司
聯系賣家 顏經理 （QQ：2076468052）
電話 钺钹钳-钼钳钺钴钻钳钸钳
手機 钳钼钺钹钸钷钵钴钵钴钴
地址 上海市嘉定區
聯系二維碼