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催化燃燒用的是表面具有貴金屬和金屬氧化物的催化劑，將有機污染物的廢氣在催化劑鉑、鈀的作用下，可以在較低的溫度下將廢氣中的有機污染物氧化成二氧化碳和水。催化劑的加入并不能改變原有的化學平衡，所改變的僅是化學反應的速度，而在反應前后，催化劑本身的性質并不發生變化。催化燃燒設備主要由活性炭吸附箱、阻火器、熱交換器，催化反應床，風機這幾個主要部件組成。與直接燃燒相比，催化燃燒溫度較低，燃燒比較完全。