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濕敏傳感器是能夠感受外界濕度變化，并通過(guò)器件材料的物理或化學(xué)性質(zhì)變化，將濕度轉(zhuǎn)化成有用信號(hào)的器件。濕度檢測(cè)較之其他物理量的檢測(cè)顯得困難，濕敏傳感器 這首先是因?yàn)榭諝庵兴魵夂恳瓤諝馍俚枚啵涣硗猓簯B(tài)水會(huì)使一些高分子材料和電解質(zhì)材料溶解，一部分水分子電離后與溶入水中的空氣中的雜質(zhì)結(jié)合成酸或堿，使?jié)衩舨牧喜煌潭鹊厥艿礁g和老化，從而喪失其原有的性質(zhì)；再者，濕信息的傳遞必須靠水對(duì)濕敏器件直接接觸來(lái)完成，因此濕敏器件只能直接暴露于待測(cè)環(huán)境中，不能密封。通常，對(duì)濕敏器件有下列要求：在各種氣體環(huán)境下穩(wěn)定性好、響應(yīng)時(shí)間短、壽命長(zhǎng)、濕度傳感器有互換性、耐污染和受溫度影響小等。微型化、集成化及廉價(jià)是濕敏器件的發(fā)展方向。 [1] 濕度是表示空氣中水蒸氣的含量的物理量，常用絕對(duì)濕度、相對(duì)濕度、露點(diǎn)等表示。所謂絕對(duì)濕度就是單位體積空氣內(nèi)所含水蒸氣的質(zhì)量，也就是指空氣中水蒸氣的密度。一般用一立方米空氣中所含水蒸氣的克數(shù)表示，即為ha=mv / v ，式中，mv 為待測(cè)空氣中水蒸氣質(zhì)量，v 為待測(cè)空氣的總體積。單位為g / m3 。濕度傳感器相對(duì)濕度是表示空氣中實(shí)際所含水蒸氣的分壓（pw ）和同溫度下飽和水蒸氣的分壓（pn ）的百分比，即ht=（pw / pn ) tx 100 % rh。通常，用rh %表示相對(duì)濕度。濕敏傳感器 當(dāng)溫度和壓力變化時(shí)，因飽和水蒸氣變化，所以氣體中的水蒸氣壓即使相同，其相對(duì)濕度也發(fā)生變化。日常生活中所說(shuō)的空氣濕度，實(shí)際上就是指相對(duì)濕度而言。溫度高的氣體，含水蒸氣越多。若將其氣體冷卻，即使其中所含水蒸氣量不變，相對(duì)濕度將逐漸增加，濕度傳感器增到某一個(gè)溫度時(shí)，相對(duì)濕度達(dá)100 % ，呈飽和狀態(tài)，再冷卻時(shí)，蒸氣的一部分凝聚生成露，把這個(gè)溫度稱(chēng)為露點(diǎn)溫度。即空氣在氣壓不變下為了使其所含水蒸氣達(dá)飽和狀態(tài)時(shí)所必須冷卻到的溫度稱(chēng)為露點(diǎn)溫度。氣溫和露點(diǎn)的差越小，表示空氣越接近飽和。 濕度傳感器濕度的測(cè)量方式有以下幾種，即采用伸縮式濕度計(jì)、干濕球濕度計(jì)、露點(diǎn)計(jì)和阻抗式濕度計(jì)等。伸縮式濕度計(jì)是利用毛發(fā)、纖維素等物質(zhì)隨濕度變化而伸縮的性質(zhì)，