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VOCS催化燃燒凈化裝置工藝是活性炭吸附和催化燃燒的組合工藝，有機廢氣經過了吸附-濃縮和催化燃燒三個過程：先利用活性炭的多孔性和空隙表面的張力把有機廢氣中的溶劑吸附在活性炭的空隙中，使所排廢氣得到凈化；當活性炭吸附飽和后，用熱風脫附；被脫附出來的有機物在催化劑的作用下，能在較低溫度的狀況轉化為無害的二氧化碳和水。由該工藝和其凈化原理可知該工藝有以下優點：

(1)由活性炭捕獲(吸附)廢氣中的有機物,使該工藝具有了活性炭吸附工藝的可靠、凈化效率高、適應濃度范圍廣等優點。

(2)該工藝采用吸附-濃縮-催化燃燒組合工藝，整個系統實現了凈化過程閉環操作，有機物一次處理   ；無二次污染。

(3)該系統組合緊湊,充分利用熱源,節省設備投資和操作費用。先有機物經脫附后被濃縮(用熱風脫附出來的有機物濃度比原來提高十幾倍到幾十倍)，其濃度接近自然狀態,在催化燃燒階段不需要外加熱源就可以分解為水和二氧化碳。其次該工藝設備在運行過程中限度地利用了有機廢氣中有機成分的熱值。