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低溫等離子凈化器的工作原理：

  采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質時，等離子體中的高能離子起決定性的作用，流星雨狀的高能等離子與介質發生非彈性碰撞，將能量轉化成基態介質的內能定向鏈化學反應后被脫離，當離子平均能量超過污染介質中化學鏈結合能時，分子鏈斷裂污染介質分解，并在等離子發生器吸附場的作用下被收集，在低溫等離子體中，可能由污染介質成分決定等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染介質濃度及共存的介質成分。